產(chǎn)品特點

l ?  閉式氣浮結構                                                                ?  直驅零齒槽效應

l ?  定位精度±0.5arc sec                                                   ?  同步跳動誤差10nm

?  精準回零誤差                                                                ?  高速度穩(wěn)定性

?  最大承載100kg                                                              ?  解決氣浮抱死問題

應用領域

QFR系列氣浮轉臺輕量化設計、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級同步跳動。產(chǎn)品設計滿足晶圓加工及檢測、輪廓測量、高精度計量、光學檢測和MEMS/納米技術設備等高端行業(yè)。

結構特點

由無齒槽直驅力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結構設計使工作臺面降到最低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉動。

精度性能

瑞邦精控的QFR系列氣浮轉臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負載100kg，電動控制和手動轉動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。

閉環(huán)反饋

使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結構，氣浮轉臺能精準回零。

定制化

氣浮轉臺可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導航等應用。