帕菲克特裝備科技(杭州)有限公司
店齡3年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 浙江省杭州市
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帕菲克特裝備科技(杭州)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 超聲清洗機(jī), UV清洗機(jī), 激光刻蝕系統(tǒng), 磁控濺射系統(tǒng), 加熱臺(tái), 狹縫涂布, 真空制晶設(shè)備, 熱蒸發(fā)系統(tǒng), 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PLAD), 層壓機(jī), 鈣鈦礦光伏技術(shù)和設(shè)備
磁控濺射鍍膜機(jī)6寸永磁共焦靶槍高性能兼容RF/DC/MF磁性材料配脈沖直流和全自動(dòng)射頻電源
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店齡3年 企業(yè)認(rèn)證
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所在地區(qū)
浙江省杭州市
?磁控濺射鍍膜機(jī)
寬500×長(zhǎng)500×高500
優(yōu)質(zhì)304不銹鋼
靶槍
磁控靶RF、DC、MF
PLC+工控機(jī)+觸摸屏全自動(dòng)控制方式
旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)
樣品臺(tái)可放置不小于100mm樣品1片,具有連續(xù)旋轉(zhuǎn)功能,旋轉(zhuǎn)0—30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)?;訜釡囟龋菏覝亍?/font>300°C連續(xù)可調(diào),由熱電偶閉環(huán)反饋控制,加熱電源配備控溫表,控溫方式為PID自動(dòng)控溫及數(shù)字顯示
6寸永磁靶槍
自研靶槍,磁控濺射系統(tǒng)3套, 濺射室中配安定制尺寸若干套高性能永磁共焦磁控濺射靶(濺射靶角度可調(diào)),各靶可獨(dú)立/順次/共同工作,磁控靶RF、DC、MF兼容,可以濺射磁性材料,磁控靶與基片距離可調(diào),配備進(jìn)口SMC旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)控制擋板組件;配脈沖直流電源(不小于500W)和全自動(dòng)匹配射頻電源(不小于500W);提供3塊測(cè)試靶材。鍍膜不均勻度≤±5%。
系統(tǒng)全自動(dòng)
系統(tǒng)采用PLC+工控機(jī)+觸摸屏全自動(dòng)控制方式,可進(jìn)行自動(dòng)抽氣及程序設(shè)定、計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示記錄真空度及加熱溫度、計(jì)算機(jī)設(shè)定顯示直流電源、射頻電源功率參數(shù)、計(jì)算機(jī)設(shè)定顯示MFC的設(shè)定控制等、計(jì)算機(jī)設(shè)定顯示當(dāng)班狀態(tài)、樣品轉(zhuǎn)速等。