真空泵性能特征:1、低噪音、低振動、直聯(lián)式風冷結構內置油霧分離器過濾器，可達9.9%的油氣過濾效果。2、進氣設計有止網(wǎng)閥，泵浦停機時泵體內的油不返流；保養(yǎng)方便、維護費用低、環(huán)保節(jié)能。3、結構緊湊、外觀精美、體積小、節(jié)省空間配置氣鎮(zhèn)閥，可適用于蒸汽之制程。

根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類： (1)一般水泵，壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。 (2)油泵，壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。 (3)擴散泵，壓強可達0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。 若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。