真空泵機組工作原理 一臺泵與一臺水環(huán)泵的極限壓力是400Pa，這可以滿足一般的真空需求，但它使用的范圍會受到一定的限制，如果用兩臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就可以大大提高機組的極限壓力（可以達到25Pa）。因此在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級泵作前級泵組成機組。如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環(huán)泵組合，它的極限壓力可以達到1Pa。

旋片真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點。因為該機組的結構緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。