吉致電子JEEZ碳化硅晶圓拋光液-硅襯底拋光液-slurry拋光液
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江蘇省無錫市
無錫吉致電子25年研發(fā)生產(chǎn)——碳化硅晶圓拋光液/硅襯底SIC拋光液/半導體拋光液/CMP化學機械拋光液/硅襯底拋光液/slurry拋光液
產(chǎn)品簡介:為電力電子器件及LED用碳化硅晶片的CMP化學機械平坦化配制的拋光液。CMP拋光液大大提高了碳化硅晶圓表面去除率和平坦化性能,提供了非常好的表面光潔度
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液使用方法:
1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進行5-20倍稀釋。
2.稀釋后,粗拋時調(diào)節(jié)PH11左右,精拋時調(diào)節(jié)PH9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分攪拌下慢慢加入。
3.循環(huán)拋光可以用原液。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液儲存方法:
1.貯存時應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲存,防止結(jié)冰,在無度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。
3.避免敞口長期與空氣接觸。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液價格:
吉致電子的碳化硅晶圓拋光液生產(chǎn)技術(shù)是引進國外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備,特殊化學配方制備而成。吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進口同類產(chǎn)品。
本土化生產(chǎn)使得吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快,品質(zhì)好,拋光液價格親民。
無錫吉致電子科技有限公司 聯(lián)系人:李女士 聯(lián)系電話:17706168670 地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2