因為反滲透膜的厚度約為10微米左右，原水中較大的顆粒經高壓泵加速后極易劃傷反滲透膜表面的脫鹽表皮層或可能擊穿反滲透膜組件，因而一般反滲透設備前都要安裝5微米精密過濾器。采用精密過濾器對進水中殘留的懸浮物、非曲直粒物及膠體等物質去除，使RO反滲透設備運行更安全、更可靠。目前商品化的反滲透膜材料主要有醋酸纖維和聚酰胺兩大類。而醋酸纖維素膜裝置是目前超純水制造系統(tǒng)中常用且經濟的反滲透裝置。但其的缺點之一就是抗微生物的侵蝕能力較差。聚酰胺類膜盡管能抗微生物侵蝕，但污染問題仍然存在。