山東博山真空泵廠有限公司主營：博山真空泵,真空機組,真空成套設備,真空泵,抽放泵

山東博山真空泵廠有限公司(原山東博山真空泵廠)生產的各類真空泵，真空機組，水環(huán)真空泵，往復式真空泵，旋片式真空泵，瓦斯抽放泵等產品廣泛應用于電子、電力、化工、冶金、紡織、食品、藥品、制磚、塑料、橡膠、陶瓷、制革、建材、干燥、服裝、物料輸送、環(huán)保等高科技領域，得到了國家科研部門及國內外光大用戶產品配套出口單位的一致認可和好評。

博山真空泵廠生產的爪型干式無油真空泵在泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構采用多級轉子竄連的形式，每組轉子分別位于不同泵腔做同步反方向運動。泵腔被爪型轉子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續(xù)運轉，進行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

真空機組、液環(huán)式真空泵、羅茨旋片機組、SZ系列水環(huán)式真空泵、SZB系列水環(huán)式真空泵

山東博山真空泵廠有限公司(原山東博山真空泵廠)生產的各類真空泵，真空機組，水環(huán)真空泵，往復式真空泵，旋片式真空泵，瓦斯抽放泵等產品廣泛應用于電子、電力、化工、冶金、紡織、食品、藥品、制磚、塑料、橡膠、陶瓷、制革、建材、干燥、服裝、物料輸送、環(huán)保等高科技領域，得到了國家科研部門及國內外光大用戶產品配套出口單位的一致認可和好評。

螺桿式干式真空泵應用一類是以半導體行業(yè)為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業(yè)中應用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個等級。①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣；②中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物；③惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物（有毒）及固體顆粒物。

博山真空泵、無油真空泵、水環(huán)真空泵、SH型中開泵、2BV水環(huán)式真空泵

山東博山真空泵廠有限公司，專業(yè)生產水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、MVR成套系統(tǒng)。公司坐落于歷史悠久的齊魯名城--淄博。

半導體真空泵應用時，抽取介質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為復雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設是油封式機械泵，這些氣體物質還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設置過濾設備。

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