山東亞世特工業(yè)清洗設備有限公司主營：超聲波清洗機,通過式噴淋清洗機,高壓噴淋清洗機

投入段：

2-3個承載位置，傳感器感知工裝籃有無，采用氣缸升降移載方式投入，作動：Z向氣缸上升 → X向氣缸右移 → Z向氣缸下降 → X向氣缸退回原點 → 依循此方式將工裝籃投入到洗凈承載座上.注：本機構設有程序保護功能及SENSOR檢知。

洗凈段：

主要構成；承載位1個，洗劑槽2個，噴淋槽1個，洗凈槽2個，慢提拉槽1個。

承載位：1個，工裝籃移入承載位置之后，立刻送入后段洗劑槽。

洗劑槽：2個，使用洗劑(人工添加)+純水，配超聲震蕩加強清洗效果，超聲強度1800W，頻率40/80kHz雙頻選擇，洗劑槽溫度設置在40-50度。

噴淋槽：1個，噴淋純水，純水來自后段洗凈槽，噴淋時需要左右往復移動以增強噴淋效果，溫度在40-50度。

洗凈槽：2個，純水，配超聲震蕩加強清洗效果，超聲強度1800W，頻率40/80kHz雙頻選擇，洗劑槽溫度設置在50-70度。

常見問題 

自噴清洗機的貯液箱，在槽中沒有水或時，必須拆換，小心電源箱，恰當實際操作及維修保養(yǎng)。1、自噴清洗機開啟時，標示燈沒亮,水泵沒有起動。緣故：A.電源總開關毀壞，沒有開關電源鍵入。B.保險絲ACFU熔斷。C.自噴清洗機水位線不夠，全自動維護造成水泵起動不上。2、初洗槽，開啟加溫半小時上下，溫度都還沒上去。緣故：A.發(fā)燙管道掉下來。B.保險絲熔斷。C.加熱管燒毀，必須拆換后。

旋轉噴淋清洗是浸入型清洗的變型。系統(tǒng)中一般包括自動配液系統(tǒng)、清洗腔體、廢液回收系統(tǒng)。

噴淋清洗在一個密封的工作腔內一次完成化學清洗、去離子水沖洗、旋轉甩干等過程，減少了在每一步清洗過程中由于人為操作因素造成的影響。在噴淋清洗中由于旋轉和噴淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均勻，同時，接觸到硅片表面的溶液永遠是新鮮的，這樣就可以做到通過工藝時間設置，控制硅片的清洗腐蝕效果，實現(xiàn)很好的一致性。密封的工作腔可以隔絕化學液的揮發(fā)，減少溶液的損耗以及溶液蒸氣對人體和環(huán)境的危害。各系統(tǒng)分別貯于不同的化學試劑，在使用時到達噴口之前才混合，使其保持鮮，以發(fā)揮潛力，這樣在清洗時會反應快。用N2噴時使液體通過很小的噴口，使其形成很細的霧狀，至硅片表面達到更好的清洗目的。